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宇宙航空用M/NEMS

このページは、三田が宇宙航空用のMEMS (Micro Electro Mechanical Systems、マイクロマシン)とNEMS (Nano Electro Mechanical Systems、ナノマシン)の研究及び開発に関してまとめたページです。
JAXA(宇宙航空研究開発機構)のISAS(宇宙科学研究本部)での研究・開発に関しても載せていきたいと思います。

まだ、未完成のページです。

このページは予算の少ない研究室・研究者に優しくできています。

JAXA/ISASでは以下のMEMSの研究・開発が行われています

一部、宇宙科学本部内で製作しています。

X線天文学

満田研究室のグループ

• TESマイクロカロリメータ
  • 高解像度のX線検出器、世界最高のエネルギー分解能を実現
• 軽量X線光学系
  • 非常に軽量なX線光学系

バス機器

主に三田が研究・開発し、水野研と共同で評価・機器開発を行っている。
製作は東京大学生産技術研究所　藤田研究室の製造装置を借りて行っている

• 2次元着陸レーザーレーダー用デバイス
  • MEMSシャッター
  • ２次元スキャナ

センサ

主に三田が研究・開発
製作は東京大学生産技術研究所　藤田研究室の製造装置を借りて行っている

• 加速度計、重力計
• ジャイロ

その他

将来、宇宙で使えるかも。主に三田が研究・開発
製作は東京大学生産技術研究所　藤田研究室の製造装置を借りて行っている

• マイクロアクチュエータ
• 発振器
• その他