Top > アクチュエータについて

MEMSに用いられるアクチュエータには原理的にいくつかに分類できます。
一般に小さくなるほど静電駆動型が有利になる

静電駆動型

発生する力は弱いが、構造が簡単で安定動作する。

電磁駆動型

発生する力は比較的大きいが、コイルや磁石などを使うので、構造が複雑でサイズも大きくなる。
場合によってはヒステリシスがある

圧電駆動型

発生する力は大きい。変位が小さいので、変位拡大機構(構造)とあわせて使う場合が多い。ドリフトもある。

熱駆動型

発生する力は大きい。変位が小さいので、変位拡大機構(構造)とあわせて使う場合が多い。ドリフトもある。

その他

液体や気体を使ったもの、高分子アクチュエータを使ったものなどがある。

用途に応じて、選ぶ必要があるが


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Last-modified: Mon, 18 Jun 2007 16:21:49 JST (4510d)