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放射線に関する問題

MEMSは機械構造なので集積回路などに起こるような大きな問題はないと考えられている。
しかし、トータルドーズが大きくなると以下のような問題が起こる。

  • 絶縁体(酸化膜)などがチャージする。
    • 電圧を印加しないのに動く
    • 変位が変わる
    • センサなどの出力が変わる
  • 絶縁体にドープが起こり、絶縁耐性が落ちる
  • ドープや欠陥によりシリコンなどの機械特性が変わる
  • 構造がより微小(nmオーダ)になるとシングルイベント系の誤動作が起こる可能性もある。

研究

主にNASAが行っている

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Last-modified: Mon, 18 Jun 2007 16:13:15 JST (4510d)