Top > MEMS用多チャンネル高圧ドライバ
64ch_driver1.jpg

パソコンから簡単にMEMSを駆動

コンセプトとしては、

  • 電源はすべてUSBから供給
  • 出力電圧もPCから設定可能
  • 小型で持ち運び可能
  • ON/OFF制御のみ
  • まあまあ高速(100kHzぐらい?)
  • プログラムを変えることで様々な駆動が可能。PWMもできるかも。

前のドライバは、チャンネル数が12しかなく、低速だったため使いにくかった。
その反省から今回はチャンネル数を64に増やし高速化した。

買う物

抵抗、コンデンサなど細かい部品は除いて、特に必要なもの

EZ-USBボード

USBとの相性が良いマイコンEZ-USBを用いて制御する。
プログラムを変えれば色々できるので便利。
このボードはオプティマイズstrawberry-linuxで購入できる。
今回はstrawberry-linuxの物を使用した。オプティマイズの方が小さい。

高電圧のDC/DCコンバータ

USBが供給する5VからMEMSを駆動するための電圧に昇圧させるDC/DCコンバータを購入。
村田パワーソリューションズ(C&Dテクノロジーズ)の「HYJ-200/1-D5」を使用。
200Vまで出力できるが、制御電圧を変化させることで50-200Vまで変化可能。

高電圧ドライバ

SupertexのHV507を使用。
これは64チャンネルすべてのチャンネルを300V、1mA/chで駆動できる。
シリアルでON/OFFするチャンネルを制御する。
制御用のクロックが8MHzなので最高100kHzぐらいで高電圧を駆動できるのではと考えられる。

D/Aコンバータ

出力電圧を制御するのに使う。
EZ-USBは出力がたくさんあるのでその一部を電圧制御に使う。

ICソケット

ICパッケージなどにデバイスを乗せて使う。自分にあったものにすればいいと思う

製作

ほとんどの作業は高電圧ドライバのHV507からの配線。
専用基板を作っていないのでピッチ変換基板を用いている。
とにかくチャンネルが多いので大変。専用基板を作った方がいい。
ハード部分ができたらEZ-USBにプログラムを書き込む。USBから直接書き込めるので便利。
あとは試験して終わり。


回路図、プログラムなどはそのうち掲載


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Last-modified: Thu, 06 Nov 2008 18:55:03 JST (4003d)