Top > MEMS設計事始め

MEMSの設計において、他のデバイスや機械などと違う点の一つは、「構造的な設計とプロセスの設計が必要」なところです。
MEMSはデバイス毎にプロセスが違うことが多いため、機構や構造の設計だけでなく、製造プロセスを設計する必要もあります。
この点が、MEMSの開発を難しく、またコスト高にしている要因です。

初期のコンセプト、原理決定が最重要

プロセスステップをできる限り少なくする

最終的なデバイスの歩留まりは、プロセス各ステップの歩留まりのかけ算です。
例えば第一ステップの歩留まりが90%で、第二、第三ステップの歩留まりがそれぞれ80%、70%なら トータルの歩留まりは約50%になってしまいます。
もし、歩留まりの非常に低いステップが存在すると殆ど成功しないことになります。

プロセスをできる限りシンプルにすることは、時間の節約だけでなく、歩留まりの向上、プロセス精度の向上につながり、コストや労力を省くことができます。

シンプルなプロセスを使う

頭を使う

製造プロセス、評価プロセスなどを十分考慮して、できる限りシンプルなデバイスにする。


Reload   New Lower page making Edit Freeze Diff Upload Copy Rename   Front page List of pages Search Recent changes Backup Referer   Help   RSS of recent changes
Last-modified: Tue, 12 Sep 2006 00:53:30 JST (4790d)