Top > アクチュエータについて

MEMSに用いられるアクチュエータには原理的にいくつかに分類できます。~
一般に小さくなるほど静電駆動型が有利になる

**静電駆動型 [#j1a69330]
発生する力は弱いが、構造が簡単で安定動作する。
**電磁駆動型 [#d01a8499]
発生する力は比較的大きいが、コイルや磁石などを使うので、構造が複雑でサイズも大きくなる。~
場合によってはヒステリシスがある
**圧電駆動型 [#e1861bcf]
発生する力は大きい。変位が小さいので、変位拡大機構(構造)とあわせて使う場合が多い。ドリフトもある。
**熱駆動型 [#o932f19d]
発生する力は大きい。変位が小さいので、変位拡大機構(構造)とあわせて使う場合が多い。ドリフトもある。
**その他 [#v95b70e4]
液体や気体を使ったもの、高分子アクチュエータを使ったものなどがある。

用途に応じて、選ぶ必要があるが

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