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*宇宙航空用M/NEMS [#madd9270]
このページは、[[三田]]が宇宙航空用のMEMS (Micro Electro Mechanical Systems、マイクロマシン)とNEMS (Nano Electro Mechanical Systems、ナノマシン)の研究及び開発に関してまとめたページです。~
[[JAXA(宇宙航空研究開発機構):http://www.jaxa.jp/]]の[[ISAS(宇宙科学研究本部):http://www.isas.jaxa.jp/]]での研究・開発に関しても載せていきたいと思います。

まだ、未完成のページです。

''このページは予算の少ない研究室・研究者に優しくできています。''

*[[JAXA:http://www.jaxa.jp/]]/[[ISAS:http://www.isas.jaxa.jp/]]では以下のMEMSの研究・開発が行われています [#b995b229]
一部、[[宇宙科学本部:http://www.isas.jaxa.jp/]]内で製作しています。
**X線天文学 [#r66d6d08]
[[満田研究室:http://www.astro.isas.ac.jp/~mitsuda/labo/]]のグループ
-[[TESマイクロカロリメータ:http://www.astro.isas.ac.jp/~mitsuda/labo/tes_process.html]]
--高解像度のX線検出器、''世界最高のエネルギー分解能を実現''
-[[軽量X線光学系:http://www.astro.isas.ac.jp/~mitsuda/labo/keiryou_kougaku.html]]
--非常に軽量なX線光学系

**バス機器 [#d8d1afe3]
主に[[三田]]が研究・開発し、水野研と共同で評価・機器開発を行っている。~
製作は[[東京大学生産技術研究所 藤田研究室:http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/]]の製造装置を借りて行っている
-2次元着陸レーザーレーダー用デバイス
--MEMSシャッター
--2次元スキャナ

**センサ [#j5bf35f9]
主に[[三田]]が研究・開発~
製作は[[東京大学生産技術研究所 藤田研究室:http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/]]の製造装置を借りて行っている
-加速度計、重力計
-ジャイロ

**その他 [#ja9cdc1f]
将来、宇宙で使えるかも。主に[[三田]]が研究・開発~
製作は[[東京大学生産技術研究所 藤田研究室:http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/]]の製造装置を借りて行っている
-マイクロアクチュエータ
-発振器
-その他

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