Top > MEMS用多チャンネル高圧ドライバ

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*パソコンから簡単にMEMSを駆動 [#i334a863]
コンセプトとしては、

-電源はすべてUSBから供給
-出力電圧もPCから設定可能
-小型で持ち運び可能
-ON/OFF制御のみ
-まあまあ高速(100kHzぐらい?)
-プログラムを変えることで様々な駆動が可能。PWMもできるかも。

[[前のドライバ>MEMS用USBドライバ]]は、チャンネル数が12しかなく、低速だったため使いにくかった。~
その反省から今回はチャンネル数を64に増やし高速化した。

**買う物 [#kc98ff27]
抵抗、コンデンサなど細かい部品は除いて、特に必要なもの
***EZ-USBボード [#md625c94]
USBとの相性が良いマイコンEZ-USBを用いて制御する。~
プログラムを変えれば色々できるので便利。~
このボードは[[オプティマイズ:http://optimize.ath.cx/]]や[[strawberry-linux:http://www.strawberry-linux.com/]]で購入できる。~
今回は[[strawberry-linux:http://www.strawberry-linux.com/]]の物を使用した。[[オプティマイズ:http://optimize.ath.cx/]]の方が小さい。

***高電圧のDC/DCコンバータ [#h87d4834]
USBが供給する5VからMEMSを駆動するための電圧に昇圧させるDC/DCコンバータを購入。~
[[村田パワーソリューションズ:http://www.murata-ps.jp/]](C&Dテクノロジーズ)の「HYJ-200/1-D5」を使用。~
200Vまで出力できるが、制御電圧を変化させることで50-200Vまで変化可能。
***高電圧ドライバ [#daef6b74]
[[Supertex:http://www.supertex.com/]]のHV507を使用。~
これは64チャンネルすべてのチャンネルを300V、1mA/chで駆動できる。~
シリアルでON/OFFするチャンネルを制御する。~
制御用のクロックが8MHzなので最高100kHzぐらいで高電圧を駆動できるのではと考えられる。
***D/Aコンバータ [#g32a3a1b]
出力電圧を制御するのに使う。~
EZ-USBは出力がたくさんあるのでその一部を電圧制御に使う。
***ICソケット [#j32a5d8e]
ICパッケージなどにデバイスを乗せて使う。自分にあったものにすればいいと思う
**製作 [#vc80b079]
ほとんどの作業は高電圧ドライバのHV507からの配線。~
専用基板を作っていないのでピッチ変換基板を用いている。~
とにかくチャンネルが多いので大変。専用基板を作った方がいい。~
ハード部分ができたらEZ-USBにプログラムを書き込む。USBから直接書き込めるので便利。~
あとは試験して終わり。~
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''回路図、プログラムなどはそのうち掲載''

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